近紅外光譜分析儀的光源是采用上下兩個電極的方法，通上電流，電極之間就形成一個火花式光譜儀光源。在這火花式光譜儀光源中，電極之間空氣或其他氣體一般處于大氣壓力。因此放電是在充有氣體的電極之間發(fā)生，是依靠電極間流過的電流使氣體發(fā)光，是建立在氣體放電的基礎上。

　　低壓火花以及控波型光譜分析儀光源是在電容電場作用下，采用控制氣氛中放電；火花 光譜分析儀光源是在直流電場作用下，稀薄控制氣氛中放電；等離子體火花式光譜儀光源是在射頻電磁場作用下控制氣氛中放電（電極之間的電壓以及電流的關系不遵守歐姆定律的）。

　　光譜分析儀光源的作用是將待測元素變成氣體狀態(tài)，而后激發(fā)成光譜，根據(jù)該元素譜線強度轉換成光電流，由計算機控制的測光系統(tǒng)按譜線的強度換算成元素的含量。

　　光源作用的這種動態(tài)過程，就是將樣品由固態(tài)變成氣態(tài)，其中一部份元素激發(fā)而發(fā)射光譜，而這些氣態(tài)的樣品又不斷地向四周擴散，分析間隙的氣態(tài)樣品也在不斷更新，以求達到一個動態(tài)平衡，當火花光譜分析儀光源激發(fā)一定時間后，蒸氣云中待測元素濃度增大，只有蒸氣云中濃度足夠大，才能得到大的光電信號。